典型文献
W波段直板型电容式MEMS开关设计
文献摘要：
针对卫星通信、6G通信、物联网技术等射频前端系统对电子元器件高频工作性能的需求,设计了一种工作在W波段的直板型电容式射频(RF)单刀双掷开关.通过优化介电层材料和开关电极之间的空气间隙,降低了插入损耗、提高了隔离度等射频性能指标.利用HFSS电磁仿真软件对开关性能进行了数值模拟计算,仿真结果表明:所设计射频单刀双掷MEMS开关在80～100 GHz范围内,其插入损耗小于1.7 dB,隔离度大于40 dB,开关整体尺寸约为1.6 mm×1.6 mm.此开关能够满足射频系统前端对高频电子元器件的性能需求,在微波测试仪器、新一代通信系统中具有一定的应用价值.
文献关键词：
射频微机电系统;W波段;单刀双掷;插入损耗;隔离度;卫星通信
中图分类号：
作者姓名：
曹钎龙;吴倩楠;韩路路;王宇;李孟委
作者机构：
中北大学南通智能光机电研究院,江苏南通226000;中北大学仪器与电子学院,山西太原030051;中北大学前沿交叉科学研究院,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]曹钎龙;吴倩楠;韩路路;王宇;李孟委-.W波段直板型电容式MEMS开关设计)[J].传感器与微系统,2022(06):74-77
A类：
射频微机电系统
B类：
波段,直板,板型,电容式,MEMS,卫星通信,6G,物联网技术,射频前端,前端系统,电子元器件,工作性能,RF,单刀双掷开关,介电层,空气间隙,插入损耗,隔离度,射频性能,HFSS,电磁仿真软件,数值模拟计算,关在,GHz,dB,体尺,射频系统,性能需求,微波测试,测试仪器,通信系统
AB值：
0.344459
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