典型文献
基于连续小波变换的激光外差干涉非线性误差补偿
文献摘要：
测量分辨率和精度的不断提高是激光外差干涉测量的发展趋势,而抑制激光外差干涉测量精度进一步提升的主要因素是周期性非线性误差.提出了一种基于连续小波变换的激光外差干涉非线性误差补偿方法.对非线性误差函数进行Morlet小波变换,利用小波系数矩阵信息提取小波脊线,分析小波脊线上的特征信息,重构一次谐波非线性误差;利用最小二乘非线性拟合方法迭代拟合出二次谐波非线性误差.实验结果表明,将此方法应用于激光外差干涉测量系统中,非线性误差分量由5.97 nm减小到1.09 nm,非线性误差分量减小至原来的18％.该方法可有效抑制非线性误差的影响,并提高激光外差干涉测量的精度.
文献关键词：
测量;激光外差干涉;非线性误差;连续小波变换;最小二乘非线性拟合
中图分类号：
作者姓名：
王煜;陈洪芳
作者机构：
北京工业大学材料与制造学部北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心, 北京 100124
文献出处：
引用格式：
[1]王煜;陈洪芳-.基于连续小波变换的激光外差干涉非线性误差补偿)[J].中国激光,2022(21):139-144
A类：
非线性误差补偿,最小二乘非线性拟合
B类：
于连,连续小波变换,激光外差干涉,测量分辨率,干涉测量,测量精度,补偿方法,误差函数,Morlet,小波系数,系数矩阵,信息提取,脊线,特征信息,拟合方法,迭代拟合,合出,二次谐波,测量系统
AB值：
0.12397
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
