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大功率准分子激光器气体流场数值分析
文献摘要：
准分子激光器作为放电激励的气体激光器,其激光介质气体在主放电电极间辉光放电产生激光的同时,也在放电区域产生气态和固态的放电产物以及大量的热.通常在激光腔内放置横流风机,以维持放电区域气体的流动和更新,从而保证激光器以重复频率工作时,每一次放电不受前一次放电产物和热量的影响.对于大功率(>300 W)准分子激光器,其放电区域体积大,且具有更高的放电电压和放电重复频率,因此对主放电电极间的气体流场具有更高要求.本课题组采用二维模型,针对一套自行设计的大功率准分子激光器放电腔结构和气体循环系统进行了稳态流场数值分析.数值分析结果显示,当风机转速为3500 r/min时,放电区域气体的平均流速高于32.76 m/s,且气体流速均匀.这一结果从理论上证明了该循环系统可以满足大功率准分子激光器的工作要求.
文献关键词：
激光器;准分子激光器;气体循环系统;流场;数值分析
中图分类号：
作者姓名：
杨礼昭;方晓东;游利兵
作者机构：
中国科学技术大学环境科学与光电技术学院, 安徽合肥230026;中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室, 安徽合肥 230031;深圳技术大学新材料与新能源学院, 广东深圳 518118;深圳盛方科技有限公司, 广东深圳 518173
文献出处：
引用格式：
[1]杨礼昭;方晓东;游利兵-.大功率准分子激光器气体流场数值分析)[J].中国激光,2022(21):54-61
A类：
气体循环系统
B类：
大功率,准分子激光器,气体流场,电激励,气体激光,介质气体,辉光放电,生气,气态,固态,放电产物,光腔,内放,横流,流风,重复频率,放电电压,二维模型,自行设计,风机转速,平均流速,气体流速,上证,工作要求
AB值：
0.234788
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