典型文献
基于MEMS的V型梁结构设计和性能测试
文献摘要：
为了研究不同弯曲曲率对V型梁结构具有不同的影响,提出了以LCP柔性材料为衬底的V型梁弯曲的力学模型,并通过软件仿真和实验验证了弯曲曲率对柔性V型梁器件的影响.从对比结果可得,当柔性衬底的曲率从0逐渐增大到33.3 m-1时,V型梁的驱动电流也随之增大,实测值与仿真值的最大误差低于6.0％,很好地揭示了柔性衬底弯曲曲率对V型梁结构的驱动性能产生的影响.
文献关键词：
MEMS;弯曲曲率;柔性衬底;V型梁结构;力学特性
中图分类号：
作者姓名：
陈林林;李伟;张玉华
作者机构：
郑州科技学院机械工程学院,河南郑州 450064
文献出处：
引用格式：
[1]陈林林;李伟;张玉华-.基于MEMS的V型梁结构设计和性能测试)[J].仪表技术与传感器,2022(02):7-10,51
A类：
B类：
MEMS,型梁,梁结构,弯曲曲率,LCP,柔性材料,梁弯曲,软件仿真,柔性衬底,驱动电流,实测值,真值,最大误差,驱动性能
AB值：
0.267803
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