典型文献
基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统设计
文献摘要：
MEMS传感器放置位置的准确性对部分高精密系统的精准检测至关重要.据此提出一种基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统.并采用MPU6050模块实验论证器件位置偏移对其输出性能的影响.为了实现器件位置偏移定量检测与校准,建立基于MEMS微振动台的传感器位置偏移检测与自校准模型,利用有限元软件仿真分析传感器位置偏移对器件输出性能的影响.仿真结果表明:当传感器在微振动台中心位置时,器件灵敏度和电容分辨率分别提高了1.31％和1.25％.放置偏移后,器件灵敏度和电容分辨率呈现线性下降,通过建立器件位置偏移与输出性能下降的对应关系,为后续的信号处理算法补偿传感器输出结果,实现器件性能校准提供了一种便捷实用的设计方案.
文献关键词：
MEMS微振动台;位置偏移;位置自校准系统;加速度传感器
中图分类号：
作者姓名：
徐娜;颜嘉铭;邢运宏;刘超然;杨伟煌;王敏昌;李杜娟;董林玺
作者机构：
杭州电子科技大学电子信息学院,智能微传感器与微系统教育部工程研究中心,浙江 杭州310018;杭州士兰微电子股份有限公司,浙江 杭州310018
文献出处：
引用格式：
[1]徐娜;颜嘉铭;邢运宏;刘超然;杨伟煌;王敏昌;李杜娟;董林玺-.基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统设计)[J].传感技术学报,2022(09):1174-1181
A类：
位置自校准系统
B类：
微振动,振动台,位置偏移,偏移检测,MEMS,高精密,精准检测,MPU6050,实验论证,输出性能,定量检测,校准模型,有限元软件仿真,分析传感,中心位置,性能下降,信号处理,理算,输出结果,器件性能,加速度传感器
AB值：
0.215305
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