典型文献
一种扫描电镜实验课中演示电子束穿透深度的方法
文献摘要：
扫描电镜分析是一种广泛应用于科研和生产中的重要分析表征手段,也是理工类专业本科生和研究生仪器分析课程的重要组成部分.在实际教学中,让学生深入、直观地认识电子束与样品的相互作用区域,理解电子束穿透深度及其影响因素,是课程的重要内容.设计了一组教学演示实验,通过采集分散在高纯硅片上的纯金属微球的能谱成分信息,分析其硅基底的含量,间接地确定电子束在样品内的穿透深度,并从电子束加速电压和样品原子序数两方面分析了其对电子束穿透深度的影响.该实验可操作性强,数据简单易得,对于学生深入理解电子束穿透深度这一概念及其在今后的实际应用中选择合适的电子束参数具有重要意义.
文献关键词：
扫描电镜;能谱分析;电子束穿透深度;加速电压
中图分类号：
作者姓名：
万鹏;徐强
作者机构：
大连理工大学分析测试中心 辽宁大连116024
文献出处：
引用格式：
[1]万鹏;徐强-.一种扫描电镜实验课中演示电子束穿透深度的方法)[J].中国现代教育装备,2022(21):24-26
A类：
电子束穿透深度
B类：
实验课,课中,中演,扫描电镜分析,分析表征,表征手段,理工类专业,专业本科,本科生,仪器分析,相互作用区域,教学演示,演示实验,高纯,硅片,纯金属,微球,谱成,分信,硅基底,间接地,加速电压,原子序数,单易,易得,一概,数具,能谱分析
AB值：
0.31161
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