典型文献
倏逝场照明的集成零模波导纳米孔芯片
文献摘要：
为了降低零模波导照明系统的成本、缩小尺寸,设计并完成衍射光栅、光波导以及零模波导的片上集成,并对集成化芯片的微纳结构及性能进行验证.采用时域有限差分法对集成化芯片进行了仿真设计,基于微纳加工手段制备出片上衍射光栅、光波导以及零模波导阵列结构,对微观结构进行表征,并借助荧光微球对芯片的性能进行验证.通过荧光微球测试,制备的集成化芯片可以实现荧光微球的有效激发;通过微观结构表征,衍射光栅周期为(352.8±2.6)nm,齿宽为(155.3±2.4)nm,刻蚀深度为(67.8±3.5)nm;光波导芯层的宽度为(504.05±10.35)nm,高度为(184.9±8.9)nm;零模波导直径为(200.2±6.4)nm,深度为(301.3±7.6)nm,满足设计要求.芯片尺寸为22 mm×22 mm,最小线宽为155 nm,通过8个衍射光栅、约1000条光波导以及数十万个零模波导阵列结构的片上集成,为零模波导的照明提供了一种紧凑且有效的解决方案.
文献关键词：
集成光学;光波导;衍射光栅;零模波导阵列
中图分类号：
作者姓名：
俞鹏飞;付博文;李传宇;李超;周连群;郭振
作者机构：
中国科学技术大学,安徽合肥230026;中国科学院苏州生物医学工程技术研究所中国科学院生物医学检验技术重点实验室,江苏苏州215163;复旦大学,上海200433;苏州国科芯感医疗科技有限公司,江苏苏州215163;季华实验室,广东佛山528200
文献出处：
引用格式：
[1]俞鹏飞;付博文;李传宇;李超;周连群;郭振-.倏逝场照明的集成零模波导纳米孔芯片)[J].光学精密工程,2022(01):62-70
A类：
零模波导阵列,波导阵列
B类：
倏逝场,导纳,纳米孔,照明系统,小尺寸,衍射光栅,光波导,片上集成,集成化,微纳结构,时域有限差分法,仿真设计,微纳加工,阵列结构,荧光微球,微观结构表征,齿宽,刻蚀深度,芯层,芯片尺寸,线宽,数十万个,紧凑,集成光学
AB值：
0.2276
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