典型文献
柔性基底上原子层热电堆热流敏感薄膜制备研究
文献摘要：
针对航空航天高温异构件表面高频热流信号测量难题,提出了一种柔性原子层热电堆热流传感器的解决方案.以镍基合金柔性基带为衬底,通过倾斜基底沉积技术(ISD)生长出了具有倾斜织构的MgO薄膜,并在其上以金属有机物化学气相沉积技术(MOCVD)成功外延生长出了倾斜且织构良好的YBa2Cu3O7-δ(YBCO)热电薄膜.利用脉冲激光对其热电性能进行了测试,其响应时间达到196 ns.
文献关键词：
柔性衬底;倾斜取向;原子层热电堆;热流传感器;YBCO薄膜
中图分类号：
作者姓名：
夏涛;赵睿鹏;陈曦;李禛哲;陶伯万
作者机构：
电子科技大学 电子科学与工程学院,成都 611731
文献出处：
引用格式：
[1]夏涛;赵睿鹏;陈曦;李禛哲;陶伯万-.柔性基底上原子层热电堆热流敏感薄膜制备研究)[J].功能材料,2022(09):18-24
A类：
倾斜取向
B类：
柔性基底,上原,原子层热电堆,薄膜制备,航空航天,信号测量,热流传感器,镍基合金,基带,沉积技术,ISD,织构,MgO,金属有机物化学气相沉积,MOCVD,外延生长,YBa2Cu3O7,YBCO,热电薄膜,脉冲激光,热电性能,响应时间,ns,柔性衬底
AB值：
0.352665
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