典型文献
纳米金刚石薄膜的掺杂、表/界面调控及性能研究
文献摘要：
本文综述了近年来国内外研究者在纳米金刚石薄膜的掺杂、导电性能、场发射性能和电化学性能等方面的工作,涉及化学气相沉积法制备n型纳米金刚石薄膜,离子注入掺杂纳米金刚石晶粒提高薄膜的n型导电性能,金属离子注入制备场发射性能良好的纳米金刚石薄膜,低剂量离子注入和晶粒表面氧终止态获得高迁移率n型电导,纳米金刚石/石墨烯复合结构的调控对其电学及电化学性能的影响,以及硼掺杂金刚石薄膜电极的微结构和电化学性能研究等.综合分析发现,晶粒掺杂和表界面协同调控可以提升薄膜的电学性能、场发射性能及电化学性能,为纳米金刚石薄膜在纳米电子器件、电化学电极等领域的应用提供了理论基础.
文献关键词：
纳米金刚石薄膜;掺杂;表面态;电学性能;n型电导;p型电导
中图分类号：
作者姓名：
胡晓君;郑玉浩;陈成克;鲁少华;蒋梅燕;李晓
作者机构：
浙江工业大学材料科学与工程学院,杭州 310014
文献出处：
引用格式：
[1]胡晓君;郑玉浩;陈成克;鲁少华;蒋梅燕;李晓-.纳米金刚石薄膜的掺杂、表/界面调控及性能研究)[J].人工晶体学报,2022(05):865-874
A类：
B类：
纳米金刚石薄膜,界面调控,导电性能,场发射,电化学性能,化学气相沉积法,离子注入,晶粒,金属离子,高迁移率,石墨烯,复合结构,硼掺杂,薄膜电极,协同调控,电学性能,电子器件,表面态
AB值：
0.130765
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