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薄膜反射镜纳秒极紫外辐照损伤
文献摘要：
随着超短超强自由电子激光等光源的应用,极紫外、X射线波段薄膜反射镜的抗辐照性能备受关注.本文介绍了IPOE实验室搭建的纳秒极紫外辐照损伤装置,并对极紫外-X射线自由电子激光常用的B4C薄膜反射镜、Au和Ru金属单层膜反射镜、B4C/Ru双层膜反射镜以及极紫外光刻用Mo/Si多层膜反射镜开展了辐照损伤测试,获得了不同材料和结构的薄膜反射镜抗损伤性能,结合理论模拟揭示了热熔融、热应力和膜层间扩散反应等损伤机制的作用.
文献关键词：
极紫外;薄膜反射镜;抗损伤性能;损伤机制
中图分类号：
作者姓名：
李文斌;李淑慧;潘刘洋;张哲;谢春;黄秋实;王占山
作者机构：
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092;同济大学中德工程学院,上海200092
文献出处：
引用格式：
[1]李文斌;李淑慧;潘刘洋;张哲;谢春;黄秋实;王占山-.薄膜反射镜纳秒极紫外辐照损伤)[J].光学精密工程,2022(21):2698-2710
A类：
薄膜反射镜,IPOE
B类：
纳秒,紫外辐照,辐照损伤,超短,超强,自由电子激光,光源,线波,波段,抗辐照性能,对极,B4C,Au,Ru,单层膜,双层膜,极紫外光刻,Mo,Si,多层膜,损伤测试,不同材料,抗损伤性能,理论模拟,热熔,熔融,热应力,膜层,扩散反应,损伤机制
AB值：
0.303489
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