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高功率密度多结级联905 nm垂直腔面发射激光器
文献摘要：
本文针对激光雷达等三维传感应用,设计并制备了905 nm波长的高功率密度5结级联垂直腔面发射激光器(vertical cavity surface emitting laser,VCSEL).制备的5结级联VCSEL单管(氧化孔径8μm)的功率转换效率高达55.2％;其最大斜率效率为5.4 W/A,约为相同孔径单结VCSEL的5倍.窄脉冲条件下(脉冲宽度为5.4 ns,占空比0.019％),5结级联19单元VCSEL阵列(单元孔径20μm)的峰值输出功率达到58.3 W,对应的峰值功率密度高达1.62 kW/mm2.对不同孔径器件(8—20μm)的光电特性进行了测试和分析.结果显示,这些器件的最大斜率效率均大于5.4 W/A,最大功率转换效率均大于54％.这些高性能VCSEL器件可作为激光雷达等三维传感应用的理想光源.
文献关键词：
905 nm垂直腔面发射激光器;多结级联;高功率密度;三维传感
中图分类号：
作者姓名：
潘冠中;荀孟;赵壮壮;孙昀;蒋文静;周静涛;吴德馨
作者机构：
中国科学院微电子研究所, 北京 100029
文献出处：
引用格式：
[1]潘冠中;荀孟;赵壮壮;孙昀;蒋文静;周静涛;吴德馨-.高功率密度多结级联905 nm垂直腔面发射激光器)[J].物理学报,2022(20):90-96
A类：
多结级联
B类：
高功率密度,垂直腔面发射激光器,激光雷达,三维传感,传感应用,vertical,cavity,surface,emitting,laser,VCSEL,单管,功率转换效率,大斜率,窄脉冲,脉冲宽度,ns,占空比,输出功率,功率达,峰值功率,密度高,kW,mm2,不同孔径,光电特性,最大功率,光源
AB值：
0.298778
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