典型文献
稳态微聚束加速器光源
文献摘要：
稳态微聚束(steady-state micro-bunching,SSMB)原理采用激光操控储存环中的电子,可形成具有精微纵向/时间结构的电子束团,即微聚束.通过有机结合微聚束辐射的强相干特性以及储存环内电子束的高回旋频率特性,SSMB光源可提供高平均功率、窄带宽的相干辐射,波段可覆盖从太赫兹到软X射线,具有巨大的科学及产业应用前景.本文在对现有加速器光源——同步辐射光源和自由电子激光简要介绍的基础上,对SSMB的概念及潜力、原理验证实验进展、核心物理及关键技术挑战、清华SSMB-EUV光源方案及其对科学研究和芯片光刻潜在的变革性影响进行总结论述.所综述的工作是在我国自己创新性工作基础上进行的,对于国内读者了解该领域的工作及发展具有一定的帮助.
文献关键词：
加速器光源;稳态微聚束;原理验证实验;极紫外光刻
中图分类号：
作者姓名：
唐传祥;邓秀杰
作者机构：
清华大学工程物理系,北京 100084
文献出处：
引用格式：
[1]唐传祥;邓秀杰-.稳态微聚束加速器光源)[J].物理学报,2022(15):74-88
A类：
稳态微聚束,SSMB,原理验证实验
B类：
加速器光源,steady,state,micro,bunching,光操控,环中,精微,时间结构,电子束团,回旋,频率特性,高平,平均功率,窄带宽,相干辐射,波段,太赫兹,产业应用,有加,同步辐射光源,自由电子激光,心物,技术挑战,清华,EUV,变革性,极紫外光刻
AB值：
0.326443
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