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电子级3-乙氧基丙酸乙酯的提纯制备
文献摘要：
电子级3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)是集成电路(IC)和液晶面板(LCD)行业必须的清洗剂和溶剂.着重研究适合大规模生产的电子级EEP的提纯工艺,实验采用工业级EEP为原料,使用吸附、离子交换、反应精馏等工艺进行提纯,产品满足电子级3-乙氧基丙酸乙酯SEMI G3指标要求.分析3-乙氧基丙酸乙酯的分解原因和精馏液泛的原因,通过改变交换基来减少EEP的分解,通过计算对液泛速度和塔径进行修正,解决液泛问题.
文献关键词：
电子级3-乙氧基丙酸乙酯(EEP);提纯;分子筛;离子交换;精馏;液泛
中图分类号：
作者姓名：
杨长青;邹德强;王大松;马群
作者机构：
北京化学试剂研究所有限责任公司,北京 大兴 102607;大连第一有机化工有限公司,辽宁 大连 116308
文献出处：
引用格式：
[1]杨长青;邹德强;王大松;马群-.电子级3-乙氧基丙酸乙酯的提纯制备)[J].化学试剂,2022(12):1782-1788
A类：
B类：
电子级,氧基,丙酸乙酯,EEP,集成电路,IC,液晶面板,LCD,清洗剂,规模生产,提纯工艺,离子交换,反应精馏,SEMI,G3,指标要求,液泛,分子筛
AB值：
0.290054
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