典型文献
采用单位激励与逆向复算的2 m平面镜检测技术
文献摘要：
为解决Φ2 m平面镜高精度面形检测问题,并提高瑞奇-康芒检测方法的可靠性,研究了一种基于单位激励法与逆向复算的Φ2 m平面镜面形检测技术.分析了在气流扰动、球面镜面形等误差源对单位激励面形计算方法的影响;采用单位激励与光学软件逆向复算相结合的方式,提高瑞奇康芒-检测方法的可靠性.仿真分析2 m平面镜检测过程中气流变化对面形恢复的影响,结果显示:在气流影响情况下,经过多次平均计算面形解算稳定性保持在0.003λ;在球面镜面形影响情况下,面形计算精度达到0.0079λ.采用这种方法,对实际Φ2 m平面镜进行面形加工过程控制,面形检测结果显示该平面镜的RMS达到0.041 5λ,PV为0.2040λ(λ=632.8 nm).该研究旨在解决误差影响情况下大口径平面镜面形检测问题,对于实际镜面加工、检测具有重要的应用意义.
文献关键词：
2m平面镜;瑞奇-康芒;影响矩阵;单位激励;逆向复算
中图分类号：
作者姓名：
王鑫蕊;杨永兴;李启统;曾昶宇;李金鹏;王赛亚;赖新华;赵金标
作者机构：
中国科学技术大学,安徽合肥230022;中国科学技术大学南京天文仪器研制中心,江苏南京210042;中科院南京天文仪器有限公司,江苏南京210042;上海师范大学数理学院,上海200234
文献出处：
引用格式：
[1]王鑫蕊;杨永兴;李启统;曾昶宇;李金鹏;王赛亚;赖新华;赵金标-.采用单位激励与逆向复算的2 m平面镜检测技术)[J].红外与激光工程,2022(12):164-174
A类：
逆向复算,面形检测技术
B类：
单位激励,检测问题,激励法,镜面,气流扰动,球面镜,误差源,光学软件,检测过程,中气,气流变化,影响情况,计算面,形影,计算精度,加工过程控制,RMS,PV,误差影响,大口径平面镜,应用意义,2m,影响矩阵
AB值：
0.257065
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