典型文献
大口径硅基空间红外透镜的高精度加工与检测(特邀)
文献摘要：
随着红外技术的不断发展,空间大口径红外光学元件的需求日益增长,其各项制造指标也逐渐接近可见光级光学元件的制造要求,由此对新型空间红外光学元件的加工和检测技术均提出了更高的挑战.针对大口径的高陡度超薄硅基红外透镜,提出了以超声铣磨-机器人研抛-离子束精抛为工艺链路的加工方案,改善了传统红外工艺路线存在的低效率、表面高频误差等问题.针对凸非球面轮廓检测中支撑引起的测试误差,在粗抛和精抛阶段分别采用了柔性缓冲支撑与三点强迫位移支撑方法,有效解决了大口径高陡度超薄透镜测试中的支撑变形问题.经过理论仿真与实验验证,证明该测试方法具有较好的一致性.通过改进的轮廓检测方法,实现了轮廓测试中支撑误差的准确分离,有效提升了加工的极限精度.最终大口径红外透镜凸非球面加工精度达RMS λ/50(λ=632.8 nm),满足设计指标要求.
文献关键词：
光学加工;空间红外透镜;轮廓检测;支撑误差
中图分类号：
作者姓名：
王国燕;许瑞;于秋跃;王永刚;孟晓辉
作者机构：
北京空间机电研究所,北京100094
文献出处：
引用格式：
[1]王国燕;许瑞;于秋跃;王永刚;孟晓辉-.大口径硅基空间红外透镜的高精度加工与检测(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):58-66
A类：
空间红外透镜,凸非球面,支撑误差
B类：
大口径,硅基,高精度加工,特邀,红外技术,红外光学,光学元件,可见光,新型空间,高陡,陡度,超薄,铣磨,离子束,链路,加工方案,工艺路线,低效率,轮廓检测,中支,测试误差,强迫,支撑方法,理论仿真,加工精度,RMS,设计指标,指标要求,光学加工
AB值：
0.277805
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