典型文献
多级热流逸式真空泵流量与压力特性分析
文献摘要：
为满足流量和压力要求,热流逸式真空泵通常采用多级串联结构.本文依据稀薄气体动力学建立了多级热流逸式真空泵运行特性数学模型,探讨了温差、努森数、串联级数对流量和压力的影响.研究表明,在满足真空度要求的前提下,为获得较大流量并减少串联级数,应合理增大多级热流逸式真空泵各级的温差;并尽可能采用特征尺寸大的连接通道,以使其内气体处于连续流区域;但微通道的特征尺寸须视情况而定,以确保其内气体处于高努森数的过渡流区域.从大气端指向真空端,多级热流逸式真空泵内的压力大致呈指数规律降低;越接近大气端的级,其内压力变化越显著;就每一级而言,压力在连接通道内略微升高,而在微通道内大幅降低.
文献关键词：
热流逸效应;多级串联;稀薄气体流动;流量特性;压力特性
中图分类号：
作者姓名：
覃日帅;蒙仕达;王博韬;卢苇
作者机构：
广西大学机械工程学院 南宁530004;四川力久律师事务所分析评议部 成都618200
文献出处：
引用格式：
[1]覃日帅;蒙仕达;王博韬;卢苇-.多级热流逸式真空泵流量与压力特性分析)[J].真空科学与技术学报,2022(11):815-821
A类：
热流逸效应
B类：
真空泵,压力特性,多级串联,串联结构,稀薄气体动力学,运行特性,真空度,大流量,特征尺寸,连接通道,于连,连续流,微通道,过渡流区,内压力,压力变化,略微,微升,稀薄气体流动,流量特性
AB值：
0.259853
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