典型文献
样品辐照电子源的研发
文献摘要：
为了研究地球早期环境和生命演化过程,设计制作了样品辐照电子源.电子通过热灯丝发射,能量通过阴极电压来调节,电子束斑尺寸通过静电透镜来调节.灯丝缠绕方式提高了发射电子的均匀性.根据理论分析和电磁软件仿真,确定了电子源阴极与控制极距离的参数.仿真结果显示,在能量为3.5 keV时聚焦电压越大束斑越小,在工作距离为150 mm时束斑直径可实现30-50 mm之间可调.实验结果显示,该装置发射的电子束能量在1-5 keV之间连续可调;在工作距离为150 mm时,3.5 keV电子束的束斑直径可调,与仿真结果变化趋势一致,可产生20.8 μA电子束流.
文献关键词：
电子枪;静电透镜;环境模拟;电子轨迹
中图分类号：
作者姓名：
石晓倩;陈雪颖;郭方准
作者机构：
大连交通大学机械工程学院 大连116028
文献出处：
引用格式：
[1]石晓倩;陈雪颖;郭方准-.样品辐照电子源的研发)[J].真空科学与技术学报,2022(10):769-773
A类：
B类：
辐照,电子源,设计制作,灯丝,阴极电压,电子束斑,静电透镜,缠绕方式,据理,软件仿真,极距,keV,工作距离,电子束流,电子枪,环境模拟,电子轨迹
AB值：
0.382738
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