典型文献
基于磁控溅射装置工艺要求的可重构控制系统设计
文献摘要：
为了提高磁控溅射装置面对不同工艺需求的适应能力,设计了一种基于西门子PLC以及LABVIEW的控制系统.该系统中不固化具体的工艺流程而是提供工艺流程编辑接口以及对自定义工艺数据进行解析和执行的功能,实现工艺的可重构.本文在实际需求的基础上完成了系统的硬件架构、软件编程以及人机交互界面的设计;通过实践验证了工艺可重构对提高设备的工艺适应性有较大的帮助.
文献关键词：
磁控溅射;西门子PLC;可重构;人机界面
中图分类号：
作者姓名：
吴建军;刘荒;李春梅
作者机构：
沈阳师范大学物理科学与技术学院 沈阳110034;沈阳仪表科学研究院有限公司 沈阳110043
文献出处：
引用格式：
[1]吴建军;刘荒;李春梅-.基于磁控溅射装置工艺要求的可重构控制系统设计)[J].真空科学与技术学报,2022(05):404-409
A类：
B类：
磁控溅射,装置工艺,工艺要求,可重构,重构控制,控制系统设计,不同工艺,西门子,PLC,LABVIEW,自定义,义工,工艺数据,硬件架构,软件编程,人机交互界面,实践验证,工艺适应性,人机界面
AB值：
0.386458
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