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空心玻璃微珠内部残余气体分析
文献摘要：
空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析相关报道.针对空心玻璃微珠内部压强未知、尺寸小、数量多等特点,设计了一种基于波纹管真空动密封的样品破坏取样机构.基于静态升压法和动态流导法,结合破碎率,推导空心玻璃微珠内部压强计算公式.采用小孔对大气量残余气体降压取样,并使用四级质谱仪对其进行成分分析.对比初读法和积分法两种质谱分析方法,其中积分法分析结果具有更好的一致性.结果 表明,取样机构可以获得40％以上的质量微珠破碎率,基于玻璃粉末法制备的空心玻璃微珠内部压强在27000 Pa左右,残余气体成分主要包括SO2、N2、CO、CO2和02.
文献关键词：
空心玻璃微珠;静态升压法;动态流导法;残余气体分析
中图分类号：
作者姓名：
常仁超;毕海林;吴俊;王旭迪;彭小波
作者机构：
合肥工业大学机械工程学院 合肥230009;安徽凯盛基础材料科技有限公司 蚌埠233000
文献出处：
引用格式：
[1]常仁超;毕海林;吴俊;王旭迪;彭小波-.空心玻璃微珠内部残余气体分析)[J].真空科学与技术学报,2022(01):31-36
A类：
静态升压法,动态流导法
B类：
空心玻璃微珠,残余气体分析,航空航天,军工,气体压强,波纹管,动密封,样机,于静,破碎率,压强计,小孔,降压,四级,质谱仪,初读,读法,积分法,质谱分析,玻璃粉,末法,Pa,气体成分,SO2,N2
AB值：
0.249162
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