典型文献
低气压下占空比对细长管空心阴极辉光放电电流的影响
文献摘要：
为了在细长管内壁获得性能良好质地均匀的膜层,本文在低气压条件下、采用细长管作真空阴极进行空心阴极辉光等离子体放电.通过研究对多种气氛(纯Ar、纯N2、氮气氩气混合)下平均电流、电流峰值的实时测量对比了不同脉冲占空比条件下等离子体放电流,讨论和分析了多气氛下改变占空比所带来的影响.实验结果显示使用频率为40 kHz的脉冲电源,随着占空比变化,脉冲电流波形有显著变化.不同气氛波形不同,但是峰值均提高,平均电流也都上升,纯Ar气氛从20％占空比提高到70％占空比电流峰值从0.325A上升到了0.5A,平均电流由0.12A上升到了0.28A.测量管内不同位置电流的值,发现管内整体电流均匀性纯Ar和混合气氛优于纯N2,Ar在30％～60％占空比区间内,表征均匀性的参数K30％～60％≈0.12.
文献关键词：
细长管空心阴极;占空比;等离子体光谱;放电电流
中图分类号：
作者姓名：
高凯晨;孔维星;巩春志;田修波
作者机构：
哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 哈尔滨150001
文献出处：
引用格式：
[1]高凯晨;孔维星;巩春志;田修波-.低气压下占空比对细长管空心阴极辉光放电电流的影响)[J].真空科学与技术学报,2022(01):20-25
A类：
细长管空心阴极,电流均匀性
B类：
低气压,辉光放电,放电电流,管内壁,获得性,膜层,压条,行空,等离子体放电,Ar,N2,氮气,氩气,平均电流,电流峰值,实时测量,脉冲占空比,变占空比,使用频率,kHz,脉冲电源,脉冲电流波形,不同气氛,325A,12A,28A,测量管,不同位置,混合气氛,K30,等离子体光谱
AB值：
0.331651
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
