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热阴极电离规灵敏度的数值模拟研究
文献摘要：
本文基于数值模拟和实验方法研究热阴极电离规的计量性能,开展了电极电压和栅网结构对Bayard-Alpert电离规灵敏度的影响研究.研究表明,随着阴极阳极电压差从50 V增加到140 V,灵敏度持续增大,之后缓慢下降,随着栅网丝间距从2 mm增加到3.5mm和丝径从0.4mm减小到0.2mm,灵敏度显著增大.采用正交分析法对电离规的结构和电压参数进行了优化,结果显示,当栅网丝径为0.2rm,丝间距为3.5mm,阳极电压为220V,阴极电压为80V时,热阴极电离规的灵敏度最大,模拟结果为0.184 Pa-1,根据优化和模拟结果进行了实验验证,实验结果为0.196 Pa-1,实验结果与模拟结果具有一致性.
文献关键词：
电离规;超高真空;灵敏度;真空测量
中图分类号：
作者姓名：
魏建平;李得天;张虎忠;成永军;姚鹏;马卓娅;葛金国
作者机构：
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室 兰州730000
文献出处：
引用格式：
[1]魏建平;李得天;张虎忠;成永军;姚鹏;马卓娅;葛金国-.热阴极电离规灵敏度的数值模拟研究)[J].真空科学与技术学报,2022(01):14-19
A类：
热阴极电离规,Bayard,Alpert,2rm
B类：
数值模拟研究,实验方法,计量性能,栅网,网结,阳极,电压差,慢下,网丝,5mm,丝径,4mm,2mm,正交分析法,220V,阴极电压,80V,Pa,超高真空,真空测量
AB值：
0.265511
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