典型文献
MEMS加速度计微敏感结构的伽马辐照退化效应
文献摘要：
抗辐射的微机电系统(MEMS)加速度计在航天飞行器和核工业中有着广泛应用.当前的研究主要集中在MEMS测控电路的抗辐射加固技术上,对MEMS微敏感结构的辐照退化机理还缺乏深入的认识.由于MEMS微敏感结构和测试电路必须工作在一起,目前研究的难点在于如何准确地辨别出MEMS敏感结构在整表中所贡献的辐照退化量占比,并基于微纳测量的方法辨析出其辐照退化机理.针对该问题,本文首先开发出了一种针对MEMS器件分部件的辐照退化测量技术,成功提取出MEMS敏感结构所产生的辐照退化量;然后采用专门制备的对照MEMS芯片和电学测试的方法来对其退化机理进行研究.测量结果发现:MEMS敏感结构的辐照退化并不来自于寄生电容层的充电效应或各类电阻参数变化效应,而主要来自于界面薄氧化层的充电效应.这些界面层俘获的电荷会对MEMS可动质量块产生一个附加的静电力从而导致MEMS加速度计的输出漂移.综上,本文基于微纳测量的手段明确推断出了MEMS敏感结构在电离辐照条件下的退化机理,为后续的MEMS器件抗辐射加固改进提供了重要的技术方向指导.
文献关键词：
微机电系统(MEMS);电容式加速度计;电离辐照退化;微敏感结构
中图分类号：
作者姓名：
许蔚;杨杰;刘珉强
作者机构：
中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川 绵阳 621999
文献出处：
引用格式：
[1]许蔚;杨杰;刘珉强-.MEMS加速度计微敏感结构的伽马辐照退化效应)[J].太赫兹科学与电子信息学报,2022(10):1101-1106
A类：
微敏感结构,电容式加速度计,电离辐照退化
B类：
MEMS,伽马,微机电系统,航天飞行器,核工业,测控电路,抗辐射加固,加固技术,退化机理,测试电路,辨别,微纳测量,分部,测量技术,电学,不来,寄生电容,充电效应,电阻参数,参数变化,面薄,氧化层,界面层,俘获,电荷,动质量,质量块,静电力,输出漂移,推断出,技术方向
AB值：
0.252756
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
