典型文献
基于脉冲串模式的ZnO薄膜皮秒激光脉冲沉积技术
文献摘要：
介绍了一种基于多脉冲模式的皮秒激光脉冲沉积方法,采用该方法在玻璃基底和单晶硅基底上沉积了透明导电氧化锌(ZnO)薄膜,使用光谱椭偏仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、分光光度计和四探针测试仪分析了激光的不同脉冲串模式对ZnO薄膜厚度、粗糙度、表面形貌、晶体结构、光学性能以及电学性能的影响.结果表明:沉积速率随着子脉冲串数量的增加而减小;随着子脉冲串数量的增加,薄膜表面粗糙度减小,颗粒尺寸减小,薄膜变得更加致密光滑;所有样品均呈现多晶结构;ZnO薄膜的透过率在可见光区域内高于92.95％,且禁带宽度在3.317～3.427 eV范围内;薄膜电阻率随着子脉冲数量的增加而减小.相比于单脉冲,利用多脉冲沉积产生的薄膜具有更高的表面质量、更好的光学性能和更低的电阻率.
文献关键词：
薄膜;脉冲激光沉积法;脉冲串模式;皮秒脉冲激光;氧化锌薄膜
中图分类号：
作者姓名：
吴恩利;代守军;轩新想;何建国;刘洋;谭羽;貊泽强;余锦
作者机构：
中国科学院空天信息创新研究院,北京100094;中国科学院大学,北京100049;中国科学院计算光学成像技术重点实验室,北京100094;中国电子科技集团公司第三研究所,北京100015;中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西西安710119
文献出处：
引用格式：
[1]吴恩利;代守军;轩新想;何建国;刘洋;谭羽;貊泽强;余锦-.基于脉冲串模式的ZnO薄膜皮秒激光脉冲沉积技术)[J].中国激光,2022(06):31-42
A类：
脉冲串模式
B类：
ZnO,膜皮,皮秒激光,激光脉冲,沉积技术,多脉冲,冲模,玻璃基,单晶硅,硅基底,电氧化,原子力显微镜,分光光度计,四探针,测试仪,薄膜厚度,表面形貌,晶体结构,光学性能,电学性能,沉积速率,表面粗糙度,颗粒尺寸,有样,多晶,透过率,可见光,禁带宽度,eV,薄膜电阻,电阻率,脉冲数量,单脉冲,表面质量,脉冲激光沉积法,皮秒脉冲激光,氧化锌薄膜
AB值：
0.311389
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