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全氢聚硅氮烷-氧化硅的转化过程研究
文献摘要：
利用全氢聚硅氮烷(PHPS)转化制备的氧化硅材料在存储芯片、柔性显示封装等领域展现出较高的应用价值.本工作系统研究了 PHPS在高温加热条件下的氧化硅形成过程,考察了转化过程中化学组成和微观结构对体积收缩、折射率和力学性能的影响.研究结果表明:转化温度低于180℃C时,PHPS的转化以Si—H和Si—N的水解缩合反应为主,转化程度较低,形成的是氧化硅为分散相、PHPS为连续相的海岛结构;转化温度在180～300℃C区间内,转化以氧化反应为主,氧化硅相逐渐生长,形成双连续的相结构,且在温度高于200℃时发生相反转,氧化硅相成为连续相.转化温度在300～600℃区间时,氧化硅网络骨架基本形成,在高温的作用下进一步致密化.PHPS转化样品的体积收缩、折光指数和力学性能与其转化程度和相分布有关.
文献关键词：
全氢聚硅氮烷;氧化硅;转化过程;微观结构;双连续相
中图分类号：
作者姓名：
王丹;郭香;李鹏飞;张昱临;徐彩虹;张宗波
作者机构：
中国科学院化学研究所 中国科学院极端环境高分子材料重点实验室 北京100190;中国科学院大学 化学与化工学院 北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]王丹;郭香;李鹏飞;张昱临;徐彩虹;张宗波-.全氢聚硅氮烷-氧化硅的转化过程研究)[J].化学学报,2022(06):734-740
A类：
全氢聚硅氮烷
B类：
氧化硅,转化过程,过程研究,PHPS,硅材料,存储芯片,柔性显示,封装,工作系统,高温加热,化学组成,体积收缩,折射率,Si,缩合反应,分散相,海岛,氧化反应,渐生,成双,相结构,温度高,相反转,基本形,致密化,折光,相分布,双连续相
AB值：
0.33441
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