典型文献
鸥翼型非球面元件的白光干涉拼接测量
文献摘要：
针对鸥翼型非球面面形检测的难题,提出了一种白光干涉拼接测量方案.基于白光显微干涉测量结合子孔径拼接的测量原理对扫描路径进行规划.搭建白光干涉拼接测量平台完成了对10mm鸥翼型非球面的59个子孔径的高精度测量.利用同步子孔径拼接算法对测得的子孔径数据进行拼接,得到了全口径面形误差.开展了利用高精度轮廓仪和计算机生成全息图(CGH)补偿器对鸥翼型非球面面形进行检测的对比实验.结果表明,所提检测方案的面形误差数值和分布均与高精度轮廓仪和CGH补偿器得到的结果吻合,有效验证了所提测量方案的正确性.
文献关键词：
测量;鸥翼型非球面;白光干涉拼接;全口径;高精度
中图分类号：
作者姓名：
路文文;郭景阳;陈善勇
作者机构：
国防科技大学智能科学学院装备综合保障技术重点实验室,湖南长沙410073;超精密加工技术湖南省重点实验室,湖南长沙410073
文献出处：
引用格式：
[1]路文文;郭景阳;陈善勇-.鸥翼型非球面元件的白光干涉拼接测量)[J].光学学报,2022(09):104-114
A类：
鸥翼型非球面,白光干涉拼接
B类：
非球面元件,非球面面形,面形检测,测量方案,干涉测量,合子,子孔径拼接,测量原理,扫描路径,测量平台,10mm,高精度测量,步子,拼接算法,全口径,面形误差,轮廓仪,全息图,CGH,补偿器,检测方案,差数,有效验证
AB值：
0.251503
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