典型文献
用于自由曲面表面测量的激光差动共焦传感器
文献摘要：
针对自由曲面测量问题,构建了一套高精度大量程激光差动共焦传感器.该传感器基于激光差动共焦原理,利用归一化单点定焦模型减小被测表面倾斜角度、反射率的影响,结合非等距分数阶累加预测算法预判焦点位置,实现快速跟踪定焦.将气浮导轨与PZT结合拓展轴向扫描范围.实验表明,该传感器轴向分辨力优于3nm,可测量表面倾斜角度达22°,轴向扫描范围达50mm,差动曲线的过零点标准偏差为5.7nm,有良好的重复性.该传感器为自由曲面的面型轮廓测量提供了一种新的方法.
文献关键词：
光学测量;自由曲面;激光差动共焦;焦占跟踪测量
中图分类号：
作者姓名：
李新月;王文彬;熊哲凤;李梦涵;徐可米;邱丽荣
作者机构：
北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京100081
文献出处：
引用格式：
[1]李新月;王文彬;熊哲凤;李梦涵;徐可米;邱丽荣-.用于自由曲面表面测量的激光差动共焦传感器)[J].光学技术,2022(04):403-409
A类：
激光差动共焦,差动共焦,焦占跟踪测量
B类：
表面测量,自由曲面测量,测量问题,大量程,单点,点定,倾斜角度,反射率,等距,分数阶,累加,预测算法,焦点位置,气浮,导轨,PZT,分辨力,3nm,可测量,50mm,过零,零点,标准偏差,7nm,面型,光学测量
AB值：
0.315896
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
