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基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究
文献摘要：
绝对检验作为一种光学元件高精度检测方法,其中的两平晶绝对检验无法精确测量平移过程中的倾斜误差,导致恢复的面形中二次项出现偏差.液面在位置变化前后能够保持水平,在旋转平移过程中不会产生倾斜误差.推导了平移过程中倾斜误差和恢复面形中离焦项的关系,并通过仿真分析加以验证,当不存在倾斜误差时,残差面PV值小于1nm.在300mm口径立式斐索干涉仪上进行液面旋转平移干涉实验,将所得到结果与传统三面互检法进行对比,面形基本一致,PV值偏差小于1.3nm,RMS值偏差小于0.65nm,证明了液面旋转平移法在干涉测量过程中不会引入倾斜误差.
文献关键词：
干涉测量;平面绝对检验;液面旋转平移;倾斜误差
中图分类号：
作者姓名：
马海颖;陈磊;王云涛;胡晨辉;黄晨;马致遥;郑东晖
作者机构：
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
文献出处：
引用格式：
[1]马海颖;陈磊;王云涛;胡晨辉;黄晨;马致遥;郑东晖-.基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究)[J].光学技术,2022(01):21-26,64
A类：
液面旋转平移,绝对检验,平面绝对检验
B类：
平移法,检验技术,光学元件,高精度检测,精确测量,倾斜误差,中二,在位,持水,离焦,PV,1nm,300mm,口径,立式,干涉仪,三面,3nm,RMS,65nm,干涉测量
AB值：
0.275716
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