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椭偏成像技术研究进展
文献摘要：
椭偏成像技术是为适应各种器件和材料小而精的趋势,在传统椭偏技术的基础上结合成像技术发展起来的一门测量技术.随着纳米技术的快速发展,该技术也呈现快速发展的趋势,在材料科学、生物学、半导体等很多领域有着广泛的应用.围绕该技术介绍它的原理和优缺点,对该技术的发展历程进行了梳理,描述该技术在材料科学、生物医学领域的应用进展,展望该技术的发展趋势.椭偏成像技术综述有助于促进该技术的发展和在更多领域的应用.
文献关键词：
成像技术;椭偏测量术;光谱;纳米薄膜;生物传感器
中图分类号：
作者姓名：
张裕;连洁;魏铭洋;姜清芬;王宸琳;王月明;许镇
作者机构：
山东大学信息科学与工程学院山东省激光技术与应用重点实验室,山东青岛266235
文献出处：
引用格式：
[1]张裕;连洁;魏铭洋;姜清芬;王宸琳;王月明;许镇-.椭偏成像技术研究进展)[J].激光与光电子学进展,2022(10):1-12
A类：
椭偏测量术
B类：
小而精,测量技术,纳米技术,材料科学,生物医学领域,技术综述,纳米薄膜,生物传感器
AB值：
0.229213
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