典型文献
基于MEMS技术的仿生纤毛风速传感器的设计和仿真
文献摘要：
设计了一种可以实现二维风速测量的电容式纤毛传感器,其特点为通过差分电容检测流速,传感器运动结构所对应的背硅被完全刻蚀.采用有限元分析软件,通过流体-固体-静电场的多物理场仿真,分析得到了传感器的差分电容与风速的变化关系.结合电容传感器AD7746的理论精度,计算得出传感器的风速灵敏度为0.25 mm/s.此外,设计了基于SOI硅片的传感器微加工制备的工艺流程.
文献关键词：
MEMS;流速传感器;仿真;差分电容;纤毛
中图分类号：
作者姓名：
卢建勋;周南彦;刘武
作者机构：
上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240;上海交通大学微纳电子学系,上海200240
文献出处：
引用格式：
[1]卢建勋;周南彦;刘武-.基于MEMS技术的仿生纤毛风速传感器的设计和仿真)[J].半导体光电,2022(06):1075-1079
A类：
AD7746
B类：
MEMS,仿生,纤毛,风速传感器,风速测量,电容式,差分电容,电容检测,测流,刻蚀,有限元分析软件,过流,静电场,多物理场仿真,变化关系,电容传感器,SOI,硅片,微加工,流速传感器
AB值：
0.405372
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