典型文献
MOEMS气体传感技术研究进展
文献摘要：
微光电子机械系统(MOEMS)气体传感技术是光学式气体传感器技术与MOEMS技术、新材料技术相结合的创新型技术方案.MOEMS气体传感器具有更低的价格、更高的集成度、更强的抗干扰能力,以及更高的测试精度.文章首先阐述了主要的光学气体传感系统的工作原理及系统结构,随后介绍了 MOEMS气体传感技术中最新的微光学器件及微光学系统.通过对MOEMS气体传感器的主要研究成果和进展的综述,对未来MOEMS气体传感器的研究重点和研究挑战等进行了展望.
文献关键词：
微光电子机械系统;气体传感器;光谱分析
中图分类号：
作者姓名：
蔡炜铭;任青颖;江彦虎;魏鸿飞;彭俊越;常春耘;薛梅
作者机构：
南京邮电大学电子与光学工程学院,南京210023;南京邮电大学电子科学与技术国家级实验教学示范中心,南京210023
文献出处：
引用格式：
[1]蔡炜铭;任青颖;江彦虎;魏鸿飞;彭俊越;常春耘;薛梅-.MOEMS气体传感技术研究进展)[J].半导体光电,2022(06):1040-1048
A类：
微光电子机械系统
B类：
MOEMS,传感技术,气体传感器,传感器技术,新材料技术,技术相结合,新型技术,集成度,抗干扰能力,测试精度,传感系统,系统结构,光学器件,光学系统,研究挑战,光谱分析
AB值：
0.193658
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