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利用PEALD制备PET基Al2O3阻隔膜及其性能研究
文献摘要：
在低温80℃的沉积条件下,采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术在柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基底上制备氧化铝(Al2O3)阻隔薄膜.通过X射线光电子能谱、椭圆偏振仪测试分析表明,制备的Al2O3薄膜纯度较高,均匀性好.同时,通过调节沉积循环周期制备了不同厚度的Al2O3薄膜,研究了薄膜厚度对其表面形貌、表面粗糙度、透光率以及水汽透过率的影响.结果表明,沉积循环周期为500cycles时制备的Al2O3薄膜性能最为优异,表面粗糙度为1.52nm,400～1200nm波长范围内平均透光率为90.4％,水汽透过率为3.15×10-3g·m-2·d-1.
文献关键词：
氧化铝;阻隔膜;等离子体增强原子层沉积(PEALD)
中图分类号：
作者姓名：
陈兰兰;孙小杰;尉琳琳;任月庆;任冬雪;梁文斌
作者机构：
北京低碳清洁能源研究院,北京 102209
文献出处：
引用格式：
[1]陈兰兰;孙小杰;尉琳琳;任月庆;任冬雪;梁文斌-.利用PEALD制备PET基Al2O3阻隔膜及其性能研究)[J].真空,2022(06):40-44
A类：
PEALD,500cycles,52nm
B类：
PET,Al2O3,阻隔膜,沉积条件,原子层沉积,聚对苯二甲酸乙二醇酯,氧化铝,光电子能谱,椭圆偏振,测试分析,沉积循环,循环周期,薄膜厚度,表面形貌,表面粗糙度,透光率,水汽透过率,膜性能,1200nm,内平,3g
AB值：
0.253833
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