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多弧离子镀Zr/ZrN多层膜的力学性能研究
文献摘要：
采用多弧离子镀膜法制备了 ZrN单层膜和不同调制比的Zr/ZrN多层膜,研究了调制比对多层膜力学性能的影响.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力.结果表明:多层膜中ZrN有较高的结晶度,膜层表面形貌平整,组织结构致密,分布有球状Zr颗粒;Zr/ZrN多层膜的硬度高于单层ZrN薄膜,并随着调制比的增加先增大后减小,调制比为1:1时,Zr/ZrN多层膜的硬度达到1541.58Hv,结合力为51.61N.
文献关键词：
多弧离子镀;调制比;ZrN;Zr/ZrN多层膜;力学性能
中图分类号：
作者姓名：
刘洋;张雅楠;高晟元;赵祯赟;郑明昊;黄美东
作者机构：
天津师范大学物理与材料科学学院,天津 300387
文献出处：
引用格式：
[1]刘洋;张雅楠;高晟元;赵祯赟;郑明昊;黄美东-.多弧离子镀Zr/ZrN多层膜的力学性能研究)[J].真空,2022(05):28-31
A类：
58Hv,61N
B类：
多弧离子镀,ZrN,多层膜,力学性能研究,镀膜,膜法,单层膜,同调,调制比,膜力,微米压痕,压痕仪,物相结构,表面形貌,结合力,结晶度,膜层,球状
AB值：
0.227168
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