典型文献
多通道数字集成芯片缺陷的线激光锁相热成像检测
文献摘要：
当前检测多通道数字集成芯片缺陷时,存在清晰度低、疲劳极限精度低以及检测精度低的问题,提出多通道数字集成芯片缺陷的线激光锁相热成像检测方法.利用可视化算法,通过激光锁相热成像方法采集多通道数字集成芯片图像,采用Holder指数运算锁相幅度图像中所有断连的图像,利用激光扫描再次进行图像成像处理,通过主成分分析法提取不连续图像的特征,实现芯片缺陷的检测.结果表明,本方法在第10秒完成清晰成像,疲劳极限精度较高,对芯片进行缺陷检测的精度最高,证明了本方法在实际应用中具有较好的实用性.
文献关键词：
芯片缺陷;激光锁相;图像叠加;特征提取
中图分类号：
作者姓名：
张稼;陆兴华;祝振宇
作者机构：
广东工业大学华立学院,广州 511300
文献出处：
引用格式：
[1]张稼;陆兴华;祝振宇-.多通道数字集成芯片缺陷的线激光锁相热成像检测)[J].激光杂志,2022(08):76-80
A类：
激光锁相
B类：
多通道,通道数,数字集,集成芯片,芯片缺陷,线激光,热成像,成像检测,清晰度,疲劳极限,检测精度,可视化算法,成像方法,芯片图像,Holder,指数运算,断连,激光扫描,图像成像,成像处理,缺陷检测,图像叠加
AB值：
0.274448
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