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基于单次旋转法的X射线平面镜绝对检测
文献摘要：
针对X射线长条形反射镜的高精度检测需求,发展了基于单次旋转法的矩形平面绝对检测方法.采用四步组合相对干涉测量,将所得面形函数分解为对称项与非对称项,利用绕光轴单次旋转前后的测量数据求出非对称项进而消除,通过计算获得待测平面的绝对面形.详细推导了矩形平面绝对检测的理论公式,并通过仿真验证分析最优旋转角度.利用该方法设计和实现了 140 mm×50 mm的矩形平面镜绝对检测实验,同时对测量结果进行闭环自检验,实验结果显示,测量得到的矩形平面镜绝对面形与闭环自检所得面形中心线高度误差小于3.4×10-3 λ(λ=632.8 nm),检验结果符合较好,验证了矩形平面绝对检测方法的有效性.结果表明该方法可实现矩形平面反射镜的绝对测量.
文献关键词：
光学测量;绝对检测;单次旋转;闭环自检
中图分类号：
作者姓名：
张梦然;周广;类维政;董晓浩
作者机构：
中国科学院上海应用物理研究所,上海 201800;中国科学院大学,北京 100049;中国科学院上海高等研究院,上海 200120
文献出处：
引用格式：
[1]张梦然;周广;类维政;董晓浩-.基于单次旋转法的X射线平面镜绝对检测)[J].激光杂志,2022(08):43-48
A类：
单次旋转,闭环自检
B类：
旋转法,平面镜,绝对检测,线长,长条形,反射镜,高精度检测,四步,干涉测量,形函数,光轴,测量数据,理论公式,仿真验证,验证分析,旋转角度,方法设计,设计和实现,中心线,绝对测量,光学测量
AB值：
0.247543
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