典型文献
高深宽比沟槽标准样板的设计与表征
文献摘要：
针对高深宽比三维结构无损测量系统的量值溯源难点,开发并设计了最大深宽比为30:1,宽度为2～30 μm,深度为10～300 μm的一系列具有循迹结构、可快速定位功能的高深宽比沟槽标准样板.采用计量型扫描电子显微镜(SEM)对制备的高深宽比沟槽标准样板进行参数表征与溯源性分析.结果表明标称宽度2 μm、标称深度60 μm的高深宽比沟槽标准样板,其实际宽度测量结果为(2.191±0.008)μm,实际深度测量结果为(59.923±0.040)pm.对于标称宽度30 μm、标称深度200 μm的标准样板,其实际宽度测量结果为(29.721±0.112)μm,实际深度测量结果为(200.343±0.220)μm,并实现了近红外光谱型高深宽比三维结构测量系统高精密的校准.实验结果表明:设计的高深宽比沟槽标准样板是一种理想的高深宽比沟槽标准样板.
文献关键词：
高深宽比;标准样板;测量系统;溯源性;三维结构
中图分类号：
作者姓名：
陈雅晴;管钰晴;邹文哲;赵琳;梁法国;孔明;陈凯晴;傅云霞;雷李华
作者机构：
中国计量大学计量测试工程学院,杭州 310018;上海市计量测试技术研究院,上海 201203;上海市在线检测与控制技术重点实验室,上海 201203;中国电子科技集团公司 第十三研究所,石家庄 050051
文献出处：
引用格式：
[1]陈雅晴;管钰晴;邹文哲;赵琳;梁法国;孔明;陈凯晴;傅云霞;雷李华-.高深宽比沟槽标准样板的设计与表征)[J].微纳电子技术,2022(12):1375-1382
A类：
B类：
高深宽比,沟槽,标准样板,三维结构,无损测量,测量系统,量值溯源,大深宽比,循迹,快速定位,定位功能,计量型,参数表征,溯源性分析,标称,宽度测量,深度测量,pm,近红外光谱,高精密
AB值：
0.196819
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