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基于磁致旋光效应的双路MOEMS加速度传感方法
文献摘要：
基于磁致旋光效应的加速度传感机理,提出了一种双路加速度传感方法.通过设置双路磁光晶体,利用其中一路磁光晶体敏感加速度信号引起的磁致旋光效应,另一路磁光晶体敏感外界的磁、热噪声并作为参考信号,通过对双路信号的同步差分检测,以去除外界磁、热噪声对磁光晶体的干扰.实验结果表明,基于磁致旋光效应的双路微光电子机械系统(MOEMS)加速度传感方法的灵敏度为314.3 mV/g,噪声谱密度为8.3μg/√Hz,零偏不稳定性为29.1μg,表现出了较高的传感性能.相较于单路系统,双路差分检测有效去除了外界磁、热噪声的影响,提高了加速度传感的检测精度及应用范围.
文献关键词：
微光电子机械系统(MOEMS);磁致旋光效应;磁光晶体;加速度传感;双路差分
中图分类号：
作者姓名：
刘丽双;武亮伟;郭浩;唐军;石云波;林绍卓;刘郁松
作者机构：
中北大学仪器与电子学院,太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]刘丽双;武亮伟;郭浩;唐军;石云波;林绍卓;刘郁松-.基于磁致旋光效应的双路MOEMS加速度传感方法)[J].微纳电子技术,2022(12):1308-1313
A类：
磁光晶体,微光电子机械系统,双路差分
B类：
磁致旋光效应,MOEMS,加速度传感,传感方法,传感机理,加速度信号,热噪声,参考信号,分检,除外,mV,噪声谱,谱密度,零偏,传感性能,检测精度
AB值：
0.159681
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