典型文献
Al2O3扩散阻挡层对柔性CZTSSe薄膜及其太阳电池的性能影响
文献摘要：
柔性Cu2ZnSn(S,Se)4(CZTSSe)薄膜太阳电池因具有轻便、灵活、可弯折等优点,可广泛应用于柔性电子器件和便捷式可穿戴设备.但柔性CZTSSe薄膜中的应力问题严重限制了其效率的提升.采用磁控溅射法在柔性Ti衬底和Mo背电极层之间溅射Al2O3扩散阻挡层来减小柔性CZTSSe薄膜中的残余应力.系统研究了 Al2O3扩散阻挡层厚度对CZTSSe薄膜物相结构、微观形貌、残余应力以及器件性能的影响.结果表明,Al2O3扩散阻挡层的引入可有效提高CZTSSe薄膜的结晶质量,减小残余应力,降低缺陷密度,从而抑制载流子的复合.当Al2O3扩散阻挡层厚度为40 nm时,CZTSSe薄膜表现出最佳的结构、形貌和光电特性,相比没有引入Al2O3扩散阻挡层,CZTSSe薄膜的残余应力由-3.99 GPa减小至-2.06 GPa,其太阳电池光电转换效率由2.61％提升至 4.21％.
文献关键词：
柔性太阳电池;Al2O3扩散阻挡层;Cu2ZnSn(S;Se)4(CZTSSe);应力;光电转换效率
中图分类号：
作者姓名：
陈文静;孙孪鸿;王威;赵毅杰;袁文栋;沈哲苇;毛梦洁
作者机构：
金陵科技学院材料工程学院,南京 211169
文献出处：
引用格式：
[1]陈文静;孙孪鸿;王威;赵毅杰;袁文栋;沈哲苇;毛梦洁-.Al2O3扩散阻挡层对柔性CZTSSe薄膜及其太阳电池的性能影响)[J].半导体技术,2022(06):437-442,447
A类：
B类：
Al2O3,扩散阻挡层,CZTSSe,Cu2ZnSn,薄膜太阳电池,轻便,弯折,柔性电子器件,可穿戴设备,问题严重,磁控溅射法,Ti,衬底,Mo,背电极,残余应力,物相结构,微观形貌,器件性能,结晶质量,缺陷密度,载流子,光电特性,GPa,光电转换效率,柔性太阳电池
AB值：
0.209004
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