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金刚线切割的多晶PERC太阳电池背叠层钝化工艺的优化
文献摘要：
为研究金刚线切割(DWS)的多晶钝化发射极背面电池(PERC)的背叠层钝化工艺对太阳电池长波光谱响应的影响,通过时域有限差分(FDTD)软件模拟传统铝背场电池与PERC电池的电场强度分布情况,并从背面膜层的折射率、钝化质量以及电池的电性能方面比较了两种不同的电池.通过研究发现,在多晶PERC太阳电池中采用背叠层钝化工艺后,能够使电池长波光谱响应增强.当硅片背面刻蚀量达到0.13 g,且在碱抛光工艺后SiO2/SiNx:H叠层膜膜厚为200 nm时,电池的反射率达到最大值,尤其是退火温度为700℃时的钝化效果最佳,此时电池的光电转换效率也最高.
文献关键词：
光谱响应;背叠层钝化工艺;金刚线切割(DWS);钝化发射极背面电池(PERC);时域有限差分(FDTD)
中图分类号：
作者姓名：
张波;郭丽;赵彩霞;杨飞飞;赵科巍;李正平
作者机构：
山西潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治 046000;上海交通大学物理与天文学院太阳能研究所,上海 200240
文献出处：
引用格式：
[1]张波;郭丽;赵彩霞;杨飞飞;赵科巍;李正平-.金刚线切割的多晶PERC太阳电池背叠层钝化工艺的优化)[J].半导体技术,2022(03):211-216
A类：
背叠层钝化工艺,碱抛光
B类：
金刚线,线切割,多晶,PERC,太阳电池,DWS,发射极,背面,长波,波光,光谱响应,时域有限差分,FDTD,软件模拟,电场强度,强度分布,面膜,膜层,折射率,电性能,硅片,刻蚀,抛光工艺,SiO2,SiNx,叠层膜,反射率,退火温度,钝化效果,光电转换效率
AB值：
0.266999
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