典型文献
MEMS惯性器件的复合止档结构设计与仿真
文献摘要：
止档限位结构是MEMS惯性器件常用的提升抗冲击能力的手段.对目前常用的刚性止档和弹性止档两种设计进行对比分析,提出了由多个不同刚度构成的复合止档结构.该设计综合了刚性止档和弹性止档两种设计的优点,为冲击环境中的惯性器件敏感结构提供有效限位保护的同时,可以大幅降低碰撞接触面因应力太大导致的局部损伤问题.仿真结果显示使用复合止档的惯性器件抗冲击能力可以达到10 000 g以上.
文献关键词：
MEMS;惯性器件;抗冲击;止档设计
中图分类号：
作者姓名：
徐淑静;张志勇
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051
文献出处：
引用格式：
[1]徐淑静;张志勇-.MEMS惯性器件的复合止档结构设计与仿真)[J].自动化与仪器仪表,2022(07):91-94,107
A类：
止档设计
B类：
MEMS,惯性器件,设计与仿真,限位结构,抗冲击能力,冲击环境,限位保护,接触面,因应,太大
AB值：
0.243138
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
