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FMCS系统在FAB厂房中的应用
文献摘要：
结合芯片制造的主要工艺流程和FAB厂房的特点,主要介绍了厂务监控系统FMCS系统的结构及优点,并就FMCS系统在FAB厂房的应用给出工程实例,为进行FAB厂房自动化控制规划提供了新方案.
文献关键词：
FAB;FMCS;自动化
中图分类号：
[1]
交通运输（U）
/
水路运输（U6）
/
港口工程（U65）
/
港口水工建筑物（U656）
/
码头（U656.1）
/
码头：按用途分（U656.1+3）
/
集装箱码头（U656.1+35）
作者姓名：
石贵春
作者机构：
合肥长鑫集成电路有限责任公司,安徽合肥 241000
文献出处：
引用格式：
[1]石贵春-.FMCS系统在FAB厂房中的应用)[J].今日自动化,2022(07):1-3,14
A类：
FMCS
B类：
FAB,厂房,房中,合芯,芯片制造,主要工艺,厂务,监控系统,出工,工程实例,自动化控制,制规,新方案
AB值：
0.37523
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