典型文献
全固态光束控制器件结构设计与热分析研究
文献摘要：
相比传统机械扫描,光学相控阵技术在扫描精度、扫描速度、转动惯量等方面具有优势,是实现大视场范围内多目标定位和三维成像的重要技术途径.随着微纳光子集成的发展,硅基光波导光学相控阵器件得到了广泛研究,并被视为全景光电成像和激光成像雷达的核心器件.介绍了硅基光波导光学相控阵的基本原理和数学模型,并设计了一个16元相控阵器件,对其温度场分布和热特性进行了分析.在此基础上,对光栅耦合器、MMI分束器、波导光栅天线等关键元件进了有限元分析和仿真,完成优化设计.基于该设计完成了器件的流片制备,并搭建了性能测试验证平台.利用该平台对器件的扫描精度(1.2°)、扫描范围(大于±30°)和扫描速度(20 kHz)分别进行了测试,验证了设计方法的可行性.
文献关键词：
光波导;相控阵;电场分布;温度场;光栅天线;分束器
中图分类号：
作者姓名：
陶新;邹尔博;罗淼
作者机构：
华中光电技术研究所—武汉光电国家研究中心,湖北武汉430223
文献出处：
引用格式：
[1]陶新;邹尔博;罗淼-.全固态光束控制器件结构设计与热分析研究)[J].光学与光电技术,2022(03):31-39
A类：
微纳光子集成,光栅天线
B类：
全固态,光束,器件结构设计,热分析,机械扫描,光学相控阵,相控阵技术,扫描精度,扫描速度,转动惯量,大视场,多目标定位,三维成像,技术途径,硅基,光波导,全景,光电成像,激光成像,温度场分布,热特性,光栅耦合器,MMI,分束器,波导光栅,键元,流片,测试验证,验证平台,kHz,电场分布
AB值：
0.336802
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