典型文献
甚长波碲镉汞探测器的注入区扩散研究
文献摘要：
在碲镉汞甚长波320×256探测器上制备了不同注入区光刻尺寸的区域,通过对不同区域的信号及注入光刻尺寸的关系进行分析对比和数据拟合,获得了不同温度下的扩散距离和单位有效光敏面积在单位时间的响应电压,对于碲镉汞甚长波探测器的器件版图设计和性能提升提供了可靠的数据支撑.
文献关键词：
甚长波;碲镉汞;注入区
中图分类号：
作者姓名：
刘世光;邢艳蕾;张敏;张轶;吴卿;王成刚
作者机构：
华北光电技术研究所,北京100015
文献出处：
引用格式：
[1]刘世光;邢艳蕾;张敏;张轶;吴卿;王成刚-.甚长波碲镉汞探测器的注入区扩散研究)[J].激光与红外,2022(09):1374-1377
A类：
B类：
甚长波,碲镉汞,探测器,注入区,光刻,分析对比,数据拟合,扩散距离,光敏,单位时间,版图设计,性能提升
AB值：
0.302689
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