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晶圆制造自动化物料调度系统研究进展
文献摘要：
半导体行业因设备成本投入巨大,因此对设备的利用效率提出了高需求.自动化物料调度系统能够显著提升半导体生产效率和设备的利用率.本文对当前主流的半导体行业的自动化物料调度系统进行了概述,从机台布局、车辆规模、性能指标、仿真建模等多个角度分析了自动化物料系统的技术,详细介绍了晶圆制造场景下自动化物料调度系统的调度策略和路由规划策略,分别从静态、动态、智能化等多个角度进行分析.最后,对晶圆制造自动化物料调度系统的未来发展方向进行了展望.
文献关键词：
晶圆制造;AMHS;调度策略;路由策略
中图分类号：
作者姓名：
杜威;李志田;徐方;杜振军
作者机构：
沈阳新松机器人自动化股份有限公司 沈阳 110169;中科院沈阳自动化研究所 沈阳 110169
文献出处：
引用格式：
[1]杜威;李志田;徐方;杜振军-.晶圆制造自动化物料调度系统研究进展)[J].人工智能,2022(03):65-73
A类：
AMHS
B类：
晶圆制造,调度系统,半导体行业,设备成本,成本投入,高需求,机台,台布,仿真建模,制造场,下自,调度策略,路由规划,规划策略,路由策略
AB值：
0.290042
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