典型文献
用于VCSEL的Si基零对比度光栅反射镜研究
文献摘要：
利用严格耦合波理论和时域有限差分方法设计了一种应用于940 nm垂直腔面发射激光器的Si基零折射率对比度光栅反射镜.对零对比度亚波长光栅(Zero-index-Contrast subwavelength Grating,ZCG)的高反射特性进行了 研究,分析了 ZCG实现宽带高反射的条件.此外,讨论了光栅结构参数对反射性能的影响并计算了制作公差,模拟分析了 ZCG尺寸与垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,VCSEL)氧化孔径尺寸对镜面损耗的影响.所设计的ZCG带宽可达280 nm,Δλ/λ0=29.8％.该反射镜可以替代VCSEL中传统的分布式布拉格反射镜,降低了工艺难度和生长成本,同时有利于VCSEL与其他Si基光电子器件的集成.
文献关键词：
垂直腔面发射激光器;零折射率对比度光栅;严格耦合波理论;时域有限差分
中图分类号：
作者姓名：
郭帅;晏长岭;方铉;郝永芹
作者机构：
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林长春130022
文献出处：
引用格式：
[1]郭帅;晏长岭;方铉;郝永芹-.用于VCSEL的Si基零对比度光栅反射镜研究)[J].红外,2022(12):30-36
A类：
零折射率对比度光栅,ZCG
B类：
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AB值：
0.280024
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