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碲镉汞p-on-n双层异质结材料表面缺陷研究
文献摘要：
对碲镉汞p-on-n双层异质结材料的表面缺陷进行了研究.材料表面缺陷会对后续器件的性能产生影响.利用光学显微镜观察外延完的材料表面,发现表面不规则块状缺陷和表面孔洞缺陷较为常见.使用共聚焦显微镜、扫描电子显微镜、能谱分析等测试手段分析发现,缺陷的形成原因是p型层生长过程中镉耗尽以及n型层生长过程中产生缺陷的延伸.
文献关键词：
碲镉汞;p-on-n;表面缺陷
中图分类号：
作者姓名：
郝斐;胡易林;邢晓帅;杨海燕;李乾;折伟林
作者机构：
华北光电技术研究所,北京 100015
文献出处：
引用格式：
[1]郝斐;胡易林;邢晓帅;杨海燕;李乾;折伟林-.碲镉汞p-on-n双层异质结材料表面缺陷研究)[J].红外,2022(12):15-19
A类：
B类：
碲镉汞,on,双层异质结,异质结材料,表面缺陷,陷进,利用光,光学显微镜,块状,面孔,孔洞缺陷,共聚焦显微镜,能谱分析,试手,形成原因,生长过程,耗尽
AB值：
0.357955
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