典型文献
10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器研制进展
文献摘要：
随着红外技术的进步,红外探测器组件向着更小尺寸、更高分辨率的方向发展.小像元间距、大面阵规格是长波探测器发展的重要方向.通过对10μm像元间距、9μm截止波长、1280×1024阵列规格长波探测器的研究,突破了10μm间距长波像元成结技术、10μm像元间距铟柱制备及互连技术,制备了有效像元率大于等于99.4％、非均匀性小于等于4％的10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器芯片.
文献关键词：
小间距;1280×1024;长波;碲镉汞
中图分类号：
作者姓名：
祁娇娇;冯晓宇;陈彦冠;宁提;刘世光;孙浩;康键
作者机构：
华北光电技术研究所,北京100015
文献出处：
引用格式：
[1]祁娇娇;冯晓宇;陈彦冠;宁提;刘世光;孙浩;康键-.10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器研制进展)[J].红外,2022(02):1-6
A类：
铟柱
B类：
长波,碲镉汞,红外技术,红外探测器,探测器组件,小尺寸,小像元,大面阵,截止波长,结技术,互连,非均匀性,小间距
AB值：
0.326128
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