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探针台"四芯"测试算法应用研究
文献摘要：
介绍了探针测试的现状,基于探针设备的硬件结构,探索设计一种"四芯"测试算法,达到提高测试效率的目标.实验结果表明了"四芯"测试算法的可行性及有效性.
文献关键词：
探针台;"四芯"测试;晶圆测试
中图分类号：
作者姓名：
胡晓霞;李猛;方敏晰;温建军
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所, 北京 100176;三河建华高科有限责任公司, 河北 燕郊 065201
文献出处：
引用格式：
[1]胡晓霞;李猛;方敏晰;温建军-.探针台"四芯"测试算法应用研究)[J].电子工业专用设备,2022(06):49-52,66
A类：
B类：
探针台,试算法,算法应用,硬件结构,测试效率,晶圆测试
AB值：
0.354723
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