典型文献
喷雾腐蚀机在Ti/Al腐蚀工艺中的应用
文献摘要：
介绍了喷雾腐蚀机的主要结构和设计优点,简述了SiC功率器件Ti/Al湿法腐蚀工艺;并就生产过程中出现的腐蚀液温度控制、液位传感器、图像识别对中等方面存在的不足做了相应改进.提高了工艺稳定性和生产效率.
文献关键词：
喷雾腐蚀机;碳化硅;钛/铝;腐蚀液温度;液位传感器;对中
中图分类号：
作者姓名：
徐俊;孙运玺;申强
作者机构：
中国电子科技集团公司第五十五研究所,江苏 南京 210016
文献出处：
引用格式：
[1]徐俊;孙运玺;申强-.喷雾腐蚀机在Ti/Al腐蚀工艺中的应用)[J].电子工业专用设备,2022(01):4-7,24
A类：
喷雾腐蚀机,腐蚀液温度
B类：
Ti,腐蚀工艺,主要结构,设计优点,SiC,功率器件,湿法腐蚀,温度控制,液位传感器,图像识别,工艺稳定性,碳化硅
AB值：
0.304554
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