典型文献
影响薄膜器件绝缘性能的工艺研究
文献摘要：
阐述影响薄膜敏感元件绝缘强度的工艺优化,得出最佳的离子能量参数,既能保证敏感元件良好的绝缘性能,又能满足结合力指标的要求,绝缘强度从小于200MΩ提高到大于3×105MΩ.
文献关键词：
薄膜敏感元件;电极薄膜;绝缘强度;结合力;离子能量
中图分类号：
作者姓名：
潘婷;蔺露
作者机构：
陕西电器研究所,陕西 710061
文献出处：
引用格式：
[1]潘婷;蔺露-.影响薄膜器件绝缘性能的工艺研究)[J].集成电路应用,2022(06):36-37
A类：
薄膜敏感元件,105M
B类：
薄膜器件,绝缘性能,绝缘强度,离子能量,结合力,200M,电极薄膜
AB值：
0.242403
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
