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集成电路工艺课程实践教学设计
文献摘要：
随着集成电路工艺技术呈现日新月异的发展,集成电路工艺实践的教学需要通过现代化的课程设计、完善的教学内容,全面培养学生在集成电路工艺领域的实践能力.通过对集成电路工艺实验教学的课程目标、课程内容、教学环节、课程考核等多方面讨论,展开对集成电路工艺实践课程的研究与探索.以一个电容器的设计和制造贯穿整个课程,综合运用器件仿真软件、版图绘制软件、工艺制造设备、电学测量设备,构建完善连贯的实验流程,以期提升学生利用已有知识解决实际问题的能力.
文献关键词：
集成电路;实践教学;工艺;半导体
中图分类号：
作者姓名：
蒋苓利;刘欢;于洪宇
作者机构：
南方科技大学 深港微电子学院,深圳 518055
文献出处：
引用格式：
[1]蒋苓利;刘欢;于洪宇-.集成电路工艺课程实践教学设计)[J].实验科学与技术,2022(02):112-116
A类：
B类：
集成电路工艺,工艺课程,课程实践教学,工艺技术,日新月异,工艺实践,教学需要,课程设计,全面培养,工艺实验,实验教学,课程目标,教学环节,课程考核,实践课程,研究与探索,电容器,用器,器件仿真,版图,图绘,制造设备,电学,测量设备,构建完善,连贯,生利,识解,解决实际问题
AB值：
0.365197
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